离子束刻蚀机厂家分享远距离等离子体蚀刻机台

离子束刻蚀机厂家分享远距离等离子体蚀刻机台：

       等离子体中的主要成分包含未电离气体分子、带电离子、电子以及各种自由基。在传统的与图形传递相关的蚀刻工艺中，带电离子体中各种成分都是非常重要的。而有些工艺只需要将晶圆表面所暴露出来的物质去除或者有选择比地蚀刻掉，并不需要带电粒子所产生的物理轰击以及方向性蚀刻。远距等离子体蚀刻机台就可以满足这些工艺的需要。如图2.16所示，远距离等离子体蚀刻机台的等离子体产生以及蚀刻反应是在不同的腔室中完成的。反应气体进入等离子体激发腔室，在外加电场或者微波的作用下电离产生等离子体，然后通过一个管道或者特定的过滤装置进入蚀刻腔室。由于带电粒子在传输的过程中会被管道器壁或者特定装置过滤掉。中性的自由基会进入反应腔室与待蚀刻晶圆进行反应。由于没有带电粒子，整个反应过程不会产生与带电粒子相关的损害。相关的应用十分广泛，例如光刻胶灰化、多晶硅回刻等工艺。