欢迎访问北京创世威纳科技有限公司官方网站!客户对每件产品的放心和满意是我们一生的追求,用我们的努力,解决您的烦恼!
Banner
首页 > 新闻资讯 > 内容

反应离子刻蚀机厂家分享什么是等离子刻蚀机

  等离子刻蚀机也被称为等离子蚀刻机、等离子平面蚀刻机、等离子蚀刻机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子体蚀刻是干燥蚀刻中最常见的形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,它释放由此产生的电离气体和高能电子组成的气体,形成等离子体或离子,电离气体原子通过电场加速时,释放出足够的力,与表面驱逐力紧密粘合或蚀刻表面。在某种程度上,等离子清洗基本上是等离子蚀刻的轻微情况。执行干法蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件由真空泵提供给抽空的反应室。气体被引入,与等离子体交换。等离子体在工件表面反应,反应的挥发性副产品由真空泵抽取。等离子蚀刻工艺其实是一种反应性等离子体工艺。最近的发展是在反应室内部设置为架子形式,具有灵活性,用户可以卸下架子,组成适当的等离子体蚀刻方法(反应等离子体(RIE)、下游等离子体(downstream)、直接等离子体(direction  plasma))。

  影响因素

  –气压(Pressure)。

  –温度(Temperature)提高温度会提高刻蚀率。

  –Micro-loading

  –刻蚀后腐蚀(Post-etch corrosion)。

  –残留物(residual)。

  感谢大家耐心看完,如果想要更多关于等离子刻蚀机、反应离子刻蚀机的相关知识,欢迎联系我们!