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北京反应离子刻蚀机的使用步骤

北京反应离子刻蚀机的使用步骤如下:

1.打开主电源、循环水和用过的工艺气体。按下放气按钮,打开盖子,将蚀刻好的样品放在托盘的中心,并盖上盖子。

2.按下泵启动按钮,启动主泵,开始抽真空。当抽真空到一定程度,机器上方的分子泵控制器会显示转速。此时,按下“工作”按钮,打开分子泵。

3.打开侧面板,检查内部接线。1~4个气体MFC分别对应三氟甲烷、氧气、氩气和六氟化硫。因为两个控制器3和4被损坏,所以只有两个控制器1和2可以用来控制其他气体的流量。

4.分子泵转速达到700Hz并稳定后,打开主阀和所需的工艺气阀。调节气体流量,稳定2分钟左右。

5.选择反应模式,包括磁增强“MERIE”和普通“RIE”。设定蚀刻时间,将计时开关设定为计时模式,设定工作时间(分、秒),或者选择不计时。选择测量范围,同时按下“开始”和“开启”按钮,观察功率计,调整功率,并调整匹配电容C1和C2,使入射功率最小。

6.工作完成后,关闭工艺气体阀,打开阀门控制2,将开关切换到最左侧(清洁),打开O2气体阀,通风清洁30S,关闭O2流量阀和气体阀。按下分子泵的“工作”按钮,关闭分子泵。当显示数字降至0时,按下“关闭泵”按钮并等待2分钟。当泵上方的灯打开时,按下“放气”按钮并等待40秒。打开盖子,把胶卷拿走。然后合上盖子,按下泵抽真空,关闭主电源、水、气等。

 以上就是北京反应离子刻蚀机的使用步骤,希望对大家有帮助。

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