异形工件镀膜设备＆ 双离子束溅射键膜机
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MSP-400E型： 半球、圆锥、碗状、异形工件均匀镀膜设备
·科研及生产型设备
·应用于半球工件均匀镀膜 -
MSP-5100DA/DB
· 科研及生产型设备
· 支持受控扫描式镀膜
· 适用于大尺寸桶形、锥形、盘形等形状样品外壁镀膜 -
MSP-5100C
· 科研及生产型设备
· 支持受控扫描式镀膜
· 适用于圆筒或类似形状样品内壁镀膜 -
RTR-9000型： 柔性材料卷绕镀膜
·科研及生产设备
·桑性材料卷对卷镀膜
·幅宽350mm-1200mm -
IBS-400双离子束溅射镀膜机
·大口径双离子束溅射镀膜机
·支持样品最大尺寸φ400mm两片/φ300mm三片/φ200mm四片
·主离子源Φ16cm或φ22cm,辅助离子源φ12cm或φ16cm
·支持光控、晶控、在线监控
·镀膜不均匀性±1%-±3%