垂直式等离子设备，属于真空腔体型等离子清洗机，核心特征：板材 / 工件竖直悬挂、垂直堆叠放置，电极呈竖向排布；物料垂直进出腔体，区别于工件水平平铺的卧式等离子清洗机。

主流应用：PCB 线路板、FPC、LED 支架、半导体封装、晶圆清洗。

工作原理

真空腔体内通入工艺气体（O₂、Ar、N₂、CF₄、H₂），射频电源（常用 40kHz/13.56MHz）激发气体形成等离子体；依靠高能离子物理轰击 + 自由基化学反应，完成表面清洁、除胶渣、表面活化、刻蚀粗化。

典型气流方案：上进气、底部抽真空，等离子自上而下流动，垂直贯穿板材微孔、盲孔。