应用方向：科研与小批量生产

产品优势 ：大尺寸片状样品退火工艺

产品配置：

★退火台数量及尺寸：2个400mm×400mm

★退火腔体：高真空系统

★退火台加热：高温加热

★温度控制：多段控温模式，控温精度±1℃

★退火平台表面温度不均匀性：≤±5℃

★气体保护：氮气

★侧壁水冷系统：包含

★氧化/氮化处理：可选配小流量质量流量控制器

★操作模式：全自动+半自动控制

类似产品：小尺寸样片退火工艺（MVA-200）

设备详细结构与功能，请咨询销售工程师。