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MRIBE-400C反应离子束刻蚀机

大口径反应离子束刻蚀机圆形样品最大Φ12英寸，长方形样品最大1200mm×2000mm部分尺寸样品支持带角度刻蚀部分尺寸样品支持斜齿光栅及闪耀光栅刻蚀部分尺寸样品支持微球面闪耀光栅刻蚀

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大口径反应离子束刻蚀机

圆形样品最大Φ12英寸，长方形样品最大1200mm×2000mm

部分尺寸样品支持带角度刻蚀

部分尺寸样品支持斜齿光栅及闪耀光栅刻蚀

部分尺寸样品支持微球面闪耀光栅刻蚀

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