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创世威纳专业生产镀膜机、刻蚀机及其它定制真空设备
·扫描式矩形/旋转靶镀膜机，大型生产设备
·进样室/取样室+镀膜室多腔结构
·支持高温加热
·支持水冷射频清洗、可选配2-6靶位
·每炉可镀8-12盘工件
DISC-SP-5100C
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MSP-6200
MEB-600/800
