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MSP-3300

· 科研型设备· 三腔体结构，进样室+两个镀膜室，支持离子源清洗· 金属及非金属分开溅射，避免交叉污染· 适用于φ6英寸及以下样片
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· 科研型设备

· 三腔体结构，进样室+两个镀膜室，支持离子源清洗

· 金属及非金属分开溅射，避免交叉污染

· 适用于φ6英寸及以下样片


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