反应离子刻蚀机的操作步骤

反应离子刻蚀机的操作步骤

1.开启总电源，开启循环水，开启工艺气体。按压放气钮，打开盖子，将腐蚀样品放在托盘中央，盖紧盖子。

2.按压下开泵按钮，打开主泵，开始抽真空。当真空达到一定程度时，机器上方的分子泵控制器显示出转速。在这个时候，按下工作键，打开分子泵。

3.翻开侧板，查看内部接线，1~4路气MFC对应的是三氟甲烷、氧、氩、六氟化硫。由于3,4个控制器损坏，只能用1,2个控制器来控制其它各路煤气的流量。

4.当分子泵转速达到700Hz，并稳定后，打开总阀和所需的过程气阀。调整气量，稳定气量约2分钟。

5.采用磁性增强“MERIE”反应模式和常规“RIE”反应模式。定时器时间设定，定时开关拨号到定时模式，设定好工作时间(分秒)，也可选择不定时。选取量程，同时按下“启动”按钮和“ON”按钮，观察功率计，调整功率，调整C1与C2匹配电容使反射功率小。

6.作业结束后，关闭过程气体阀门，打开阀控2，按(清洁)调至左边，打开O2气阀，通气30S，关闭O2流量阀，关闭气阀。按动分子泵的“工作”按钮，关闭分子泵，等显示数字降至0，按下“关闭泵”按钮，等待2分钟，待泵熄灭后，按下“放气”按钮，等待40秒，打开盖，取片。接着盖上，按下开关泵，抽真空，关闭总电源，水，气等。

感谢大家耐心看完反应离子刻蚀机小编分享的文章，如果有需要了解更多反应离子刻蚀机和半球碗状棒状样品镀膜刻蚀的相关知识，欢迎联系我们，创世威纳24小时竭诚为您服务！