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反应离子刻蚀机的操作步骤

反应离子刻蚀机的操作步骤

1.开启总电源,开启循环水,开启工艺气体。按压放气钮,打开盖子,将腐蚀样品放在托盘中央,盖紧盖子。

2.按压下开泵按钮,打开主泵,开始抽真空。当真空达到一定程度时,机器上方的分子泵控制器显示出转速。在这个时候,按下工作键,打开分子泵。

3.翻开侧板,查看内部接线,1~4路气MFC对应的是三氟甲烷、氧、氩、六氟化硫。由于3,4个控制器损坏,只能用1,2个控制器来控制其它各路煤气的流量。

4.当分子泵转速达到700Hz,并稳定后,打开总阀和所需的过程气阀。调整气量,稳定气量约2分钟。

5.采用磁性增强“MERIE”反应模式和常规“RIE”反应模式。定时器时间设定,定时开关拨号到定时模式,设定好工作时间(分秒),也可选择不定时。选取量程,同时按下“启动”按钮和“ON”按钮,观察功率计,调整功率,调整C1与C2匹配电容使反射功率最小。

6.作业结束后,关闭过程气体阀门,打开阀控2,按(清洁)调至最左边,打开O2气阀,通气30S,关闭O2流量阀,关闭气阀。按动分子泵的“工作”按钮,关闭分子泵,等显示数字降至0,按下“关闭泵”按钮,等待2分钟,待泵熄灭后,按下“放气”按钮,等待40秒,打开盖,取片。接着盖上,按下开关泵,抽真空,关闭总电源,水,气等。

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