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IBS-400双离子束溅射镀膜机

·大口径双离子束溅射镀膜机·支持样品最大尺寸φ400mm两片/φ300mm三片/φ200mm四片·主离子源Φ16cm或φ22cm,辅助离子源φ12cm或φ16cm·支持光控、晶控、在线监控·镀膜不均匀性±1%-±3%
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产品详情

·大口径双离子束溅射镀膜机

·支持样品最大尺寸φ400mm两片/φ300mm三片/φ200mm四片 

·主离子源Φ16cm或φ22cm,辅助离子源φ12cm或φ16cm 

·支持光控、晶控、在线监控

·镀膜不均匀性±1%-±3%


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