多腔体多功能镀膜设备

       现阶段，真空泵磁控溅射镀膜机、真空泵蒸发镀膜机、真空泵多弧电离镀膜机等，真空泵磁控溅射镀膜机可在超低温情况下开展非金属材质开展表层的镀膜，真空泵蒸发镀膜机和真空泵多弧电离镀膜机归属于高溫表层的镀膜，适用金属复合材料表层的镀膜。每个镀膜机常有分别特性和应用范畴限定，如需镀制多种膜层及其开展金属材料和非金属材质的表层的镀膜，必须购买所述多种多样真空镀膜机，存有机器设备项目投资大的缺陷。

       以便解决困难，出示一种多腔体多功能镀膜设备。本系统由真空镀膜系统和真空手套箱系统集成而成，可在高真空泵蒸镀腔室中进行塑料薄膜蒸镀，并在手套箱高纯度稀有气体气氛下开展试品的储放、制取及其蒸镀后试品的检验。

智能磁控溅射表层的镀膜系统软件适用范围：用以制取各种各样陶瓷膜、半导体材料膜、物质膜、磁控膜、电子光学膜、纳米管膜、传感技术膜及其各种各样独特要求的作用塑料薄膜。