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MSP-6000型磁控溅射镀膜机

MSP-6000型磁控溅射镀膜机

产品详情

名称:MSP-6000型: 矩形或圆形磁控靶侧面镀膜,卧式设备

应用方向:片状样品批量生产

产品优势:矩形或圆形磁控靶侧面镀膜,卧式设备

产品配置:

★样片数量及尺寸:

★溅射材料:金属;非金属;化合物等薄膜材料。

★溅射腔体:高真空系统。

★溅射不均匀性:≤±5%-±8%

★磁控靶数量: 

★磁控靶安装形式:卧式安装

★加热:常规加热 

★电源配置:射频;直流

★清洗功能:可选配离子源清洗、射频清洗、反溅清洗模式

★快速反应溅射功能:可选配Speedflo

★膜厚监控功能:可选配晶控膜厚在线监测与终点控制

★操作模式:全自动+半自动控制

设备详细结构与功能,请咨询销售工程师。


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