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特点：大尺寸片状样品去胶 ，均匀性高 应用方向：科研与教学产品优势：大尺寸片状样品去胶 ，均匀性高产品配置：★样品数量及尺寸：1片Φ6英寸（或以下）★腔体：低真空系统★刻蚀材料：光刻胶、聚酰亚胺、S
特点：效率高，多片同时去胶 应用方向：批量生产产品优势：高效率，多片同时去胶产品配置：★样品数量及尺寸：15-20片Φ6英寸（或以下）★腔体：低真空系统★刻蚀材料：光刻胶等材料★去胶速率：
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