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反应离子腐蚀技术是一种各种各样很强、可选择性高的干式浸蚀技术性。它是在超滤装置中运用分子结构汽体低温等离子来开展刻蚀的，运用了电离诱发化学变化来完成各种各样刻蚀
又叫感应耦合离子刻蚀机、感应耦合等离子平面刻蚀机、等离子技术刻蚀机、感应耦合等离子金属表面处理仪、等离子清洗系统软件等。低温等离子刻蚀，是干法刻蚀中普遍的一种
将磁控溅射技术性和真空蒸发技术性融合在同一真空电镀机器设备里，既运用磁控溅射负极辉光放电将靶材分子迸溅并一部分离化堆积在板材上破乳，另外又可运用在真空泵中以电阻
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