磁控溅射镀膜机的使用步骤是什么？

磁控溅射镀膜机所需的涂层称为基底，涂层材料称为目标材料。基底和目标材料都在真空腔中。蒸发涂层通常以原子基团或离子的形式加热目标材料。并通过成膜过程（散点岛结构-模糊结构层生长）沉降在基底表面形成薄膜。对于溅射涂层，可以简单地理解为使用电子或高能激光轰击目标材料，使表面成分以原子基团或离子的形式溅射，沉积在基底表面，体验成膜过程，形成薄膜。

使用步骤：

操作：

1.开水泵，气源。

2.打开总电源。

3.开维持泵，真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后再进入下一步。大约需要5分钟。

4.开机械泵，打开涡轮分子泵电源，并启动，将真空计开关更改为V2位，抽到小于2，大约需要20分钟。

5.观察涡轮分子泵读数达到250后，关闭预泵，打开前泵和高真空阀继续抽真空，打开右高真空表头观察真空度。真空达到2×电子枪电源只有在10-3之后才能打开。

操作：

1.总电源。

2.同时打开电子枪控制Ⅰ电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源，延迟开关，延迟.电源和保护灯亮起，三分钟后延迟，保护灯熄灭。若后门未关闭或水流继电器故障，保护灯将永远亮起。

3.打开高压，高压将达到10KV以上，调节束流可达200mA大约20个窗帘栅V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流为1~1.7之间摆动。

顺序：

真空表头关闭，关分子泵。

2.当分子泵显示到50时，高阀依次关闭，前级，机械泵，这段时间大约需要40分钟。

3.50以下时，关闭维护泵。

磁控溅射镀膜机适用范围：

1.建筑五金：卫浴五金(如水龙头)，五金合叶，家具等。

2.制表工业：可用于表壳，表带涂层，水晶制品。

3.其他小五金：皮革五金、不锈钢餐具、眼镜框、刀具、模具等．

4.大型工件：汽车轮毂，不锈钢板、招牌、雕塑等。

5.不锈钢管和板(各种表面)

6.家具、灯具、宾馆用具。

7.锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器皿等五金产品镀超硬装饰膜。

8.手表、表带、眼镜、珠宝等装饰品采用超耐磨装饰(金银)纳米膜、纳米膜和纳米叠层膜。