陀螺镀膜刻蚀设备

半球碗状棒状样品镀膜刻蚀设备

陀螺镀膜刻蚀设备是一种高精度、高可靠和长寿命的新型固态陀螺仪，它是利用半球壳唇缘的径向振动驻波进动效应来感测基座旋转的一种哥式振动陀螺。它具有很高的测量精度、超强的稳定性和可靠性、良好的抗冲击振动性及温度性能，还特别具有独特的关机抗辐射能力。特别是预期寿命高达 15 年，是卫星或空间飞行器惯性测量单元、姿态稳定控制的关键部件，在空间应用领域具有独特的优势和广阔的前景。

陀螺性能划分如下表(图片来自百度百科):

HRG 因具有惯导级的性能而受到广泛的关注。其具有以下优点

第一，没有机械转子。HRG 是靠半球谐振子唇沿高频振动产生的哥氏效应来敏感角运动的，也就没有了由于机械摩擦而引起的陀螺仪漂移，并具有较强的抗冲击能力。由于谐振子振动的惯性，HRG 断电 15 分钟仍可以完成角速率的测量。

第二，长寿命。如果 HRG 的内部密闭性良好，则 HRG 能够连续工作 15 年以上而能够满足所要求的性能，美国 Northrop Grumman 公司开发的型号为 H130P 半球陀螺仪在89 颗卫星上的 91 个系统，工作时间 12 百万小时 100%的任务成功率。因此 HRG 被公认为目前寿命长的陀螺仪，并能够满足长寿命航天器的需求。

第三，高精度。当 HRG 作为角速率传感器时，其随机漂移在 10 -2 º/hr 量级，而作为积分陀螺时，其随机漂移可达 10 -4 º/hr 量级，哈勃望远镜里的 HRG 模块性能达到：Bias Stability为 0.00008º/hr；ARW 为 0.000010º/Öhr， AWN 为 0.000150 arc-sec/ÖHz。因此 HRG 是非常有前景的惯性敏感器件。另外 HRG 还具有体积小，低噪声，低功耗，高稳 定性，高分辨率，高可靠性，对加速度不敏感，抗核辐射等优点。基于以上 HRG 的优点，它将在飞船与卫星的稳定性控制、航天器导航、石油钻孔勘探等领域有着广阔的应用前景。目前美国已经将 HRG 成功的应用在空间飞行器导航、战术导弹导航、通讯卫星姿控系统、精确指向及深空探测任务中，达到了 100%的成功率。

HRG 在空间领域应用的第一个任务是近地小行星(NEAR)的登陆，其导航系统应用的陀螺仪是 HRG130Y。飞行器于 1996 年发射升空，1997 年飞过 253Mathilde 小行星，在飞过地球加速后于 2000 年进入绕“Eros”小行星的轨道。NEAR 在完成了科研任务之后于2001 年 2 月 12 日成功的软着陆在“Eros”小行星上。HRG 的第二次成功应用是在 SATCOM 商业卫星上的应用，然后是在太空观测器CASSINI 号中的应用。1997 年 10 月 15 日带有观测土卫六(泰坦)任务的太空观测器CASSINI 号发射升空。在飞跃金星(两次)，地球与木星之后，CASSINI 号于 2004 年 7 月1 日成功进入土星轨道，12 月 5 日 Huygens 探测器与 CASSINI 号分离并进入观测泰坦的轨道，于 2008 年 6 月 30 日成功完成了观测任务。

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